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第一章 半導體、光伏產業用高純硅烷概述 16
1.1 高純硅烷簡介 16
1.2 高純硅烷的主要基本性能與質量指標 17
1.3 高純硅烷的主要應用領域 18
1.4 高純硅烷在發展我國電子工業中的重要作用 19
第二章 電子特種氣體及其應用市場 20
2.1 電子特種氣體概述 20
2.2 電子特種氣體制造中的主要技術方面 21
2.3 電子特種氣體的純凈度要求 23
2.4 電子特種氣體產品市場競爭的焦點問題 25
2.4.1 對電子特種氣體雜質、純度要求的問題 25
2.4.2 氣體配送及供應問題 26
2.4.3 儲存、使用中的安全性問題 27
2.4.4 成本性問題 28
2.5 國內外電子特種氣體行業發展概述 29
2.5.1 境外電子特種氣體生產與市場情況 29
2.5.2 國內電子特種氣體行業及其發展 30
第三章 高純硅烷氣體性能指標及制備、凈化的工藝路線 33
3.1 高純硅烷的性能指標 33
3.2 高純硅烷工業化制備的典型工藝路線 34
3.2.1 制備工藝法概述 34
3.2.2 硅化鎂合金法制備硅烷 34
3.2.2.1 工藝過程 34
3.2.2.2 主要反應 36
3.2.2.3 工藝特點 36
3.2.2.4 工藝法存在的問題 37
3.2.3 三氯氫硅還原法制備硅烷 37
3.2.3.1 工藝過程 37
3.2.3.2 主要反應 39
3.2.3.3 工藝特點 39
3.2.3.4 工藝法存在的問題 40
3.2.4 四氟化硅還原法制備硅烷 41
3.2.4.1 工藝過程 41
3.2.4.2 主要反應 41
3.2.4.3 工藝特點 41
3.2.4.4 工藝法存在的問題 42
3.2.5 氯硅烷歧化法制備硅烷 42
3.2.5.1 工藝過程 42
3.2.5.2 主要反應 42
3.2.5.3 工藝特點 42
3.2.5.4 工藝法存在的問題 43
3.2.6 烷氧基硅烷歧化法 43
3.2.6.1 工藝過程 43
3.2.6.2 主要反應 44
3.2.6.3 工藝特點 44
3.2.6.4 工藝法存在的問題 44
3.3 高純硅烷氣體的凈化工藝路線 45
3.3.1 氣體的凈化方法概述 45
3.3.2 高純硅烷的凈化過程 45
3.4 工業高純硅烷氣體的包裝及貯運 46
第四章 國內外高純硅烷生產與主要企業現況 47
4.1 世界高純硅烷產銷、市場規模的概況 47
4.2 國外高純硅烷主要生產企業產銷情況 47
4.3 國外高純硅烷主要生產企業簡況 48
4.3.1 REC Silicon公司 48
4.3.2 Dowcorning公司 51
4.3.3 SODIFF新素材有限公司 54
4.3.4 MEMC公司 57
4.3.5 Air Liquid公司 60
4.3.6 日本電氣工業公司 64
4.3.7 大陽日酸公司 67
4.3.8 Evonik Industries公司 70
4.4 國內硅烷業的發展概述 72
4.4.1 我國高純硅烷業發展的概述 72
4.4.2 我國硅烷研發、生產的歷史 74
4.5 國內高純硅烷生產企業現況 75
4.5.1 國內高純硅烷生產企業總述 75
4.5.2 浙江中寧硅業有限公司 75
4.5.3 浙江賽林硅業有限公司 81
4.5.4 滁州市硅谷特種氣體有限公司 88
4.5.5 六九硅業有限公司 95
4.5.6 浙江金華美晶硅電子有限公司 102
4.5.7 黑龍江金業電子氣體股份有限公司 108
4.5.8 深圳市金業長健新材料股份有限公司 115
第五章 高純硅烷主要應用領域的概述 122
5.1 高純硅烷在集成電路中的應用 122
5.1.1 集成電路芯片制程 122
5.1.2 化學氣相沉積和氣體應用 122
5.1.3 高純硅烷在化學氣相沉積中作為氣源形成的薄膜 131
5.2 高純硅烷在薄膜硅太陽電池中的應用 132
5.2.1 非晶硅薄膜太陽能電池 132
5.2.2 Si薄膜的材料特性 132
5.2.3 非晶硅薄膜太陽能電池制作工藝及高純硅烷其應用 136
5.3 高純硅烷在液晶顯示器中的應用 138
5.3 高純硅烷在液晶顯示器中的應用 139
5.4 高純硅烷在其它領域的應用 139
5.4.1 在特種玻璃制造中的應用 139
5.4.2 在電子部件制造中的應用 140
5.4.3 在化合物半導體材料制造中的應用 140
5.5 高純硅烷在電子信息產品中應用市場需求量的測算 141
第六章 高純硅烷主要應用市場之一—集成電路產業的現況與趨勢 143
6.1 世界半導體硅片生產與市場發展 143
6.1.1 世界半導體生產的現況 143
6.1.2 世界半導體硅片的生產狀況 145
6.2 我國半導體晶圓生產與市場現況與發展 145
6.2.1 我國集成電路市場、產業發展現狀 145
6.2.2 我國集成電路晶圓制造業情況 153
第七章 高純硅烷主要應用市場之二 —薄膜太陽能電池產業的現況與趨勢 154
7.1 國內外光伏產業的發展 154
7.1.1 世界光伏產業的快速發展 154
7.1.2 我國光伏產業發展環境與現況 155
7.2 薄膜太陽能電池的生產與市場 163
7.2.1 薄膜太陽能電池特點及品種 163
7.2.2 薄膜太陽能電池未來市場發展前景 171
7.2.3 薄膜太陽能電池生產及在光伏市場上的份額變化 174
7.3 國內外薄膜太陽能電池的主要生產企業 175
第八章 高純硅烷主要應用市場之三 —液晶顯示器產業的現況與趨勢 180
8.1 世界平板顯示器產業發展現況 180
8.2 我國平板顯示器產業現況與未來發展預測 181
8.2.1 我國液晶顯示產業發展概述 181
8.2.2 我國LCD面板生產現況與未來幾年發展預測 183
8.2.3 我國發展平板顯示產業的相關政策及未來發展的預測、分析 185

圖表目錄
圖表 1 硅烷性能比較 18
圖表 2 氣體按其特性分類圖 21
圖表 3 雜質對硅低溫選擇性外延沉積的影響 24
圖表 4 露 點與集成度的關系 25
圖表 5 微粒直徑與集成度的關系 25
圖表 6 特殊氣體供應流程圖 27
圖表 7 硅烷的性能指標 33
圖表 8 氫化鋰還原三氯氫硅制備硅烷工藝流程圖 38
圖表 9 2017-2021年世界高純硅烷產銷分析 47
圖表 10 2017-2021年世界高純硅烷市場規模分析 47
圖表 11 2021年國外高純硅烷主要生產企業產銷情況 47
圖表 12  近4年REC Silicon公司   流動資產周轉次數變化情況 48
圖表 13  近4年REC Silicon公司   總資產周轉次數變化情況 49
圖表 14  近4年REC Silicon公司   銷售毛利率變化情況 49
圖表 15  近4年REC Silicon公司   資產負債率變化情況 49
圖表 16  近4年REC Silicon公司   產權比率變化情況 50
圖表 17  近4年REC Silicon公司   固定資產周轉次數情況 50
圖表 18  近4年Dowcorning公司流動資產周轉次數變化情況 52
圖表 19  近4年Dowcorning公司總資產周轉次數變化情況 52
圖表 20  近4年Dowcorning公司銷售毛利率變化情況 52
圖表 21  近4年Dowcorning公司資產負債率變化情況 53
圖表 22  近4年Dowcorning公司產權比率變化情況 53
圖表 23  近4年Dowcorning公司固定資產周轉次數情況 54
圖表 24  近4年SODIFF新素材有限公司流動資產周轉次數變化情況 55
圖表 25  近4年SODIFF新素材有限公司總資產周轉次數變化情況 55
圖表 26  近4年SODIFF新素材有限公司銷售毛利率變化情況 55
圖表 27  近4年SODIFF新素材有限公司資產負債率變化情況 56
圖表 28  近4年SODIFF新素材有限公司產權比率變化情況 56
圖表 29  近4年SODIFF新素材有限公司固定資產周轉次數情況 57
圖表 30  近4年MEMC公司流動資產周轉次數變化情況 58
圖表 31  近4年MEMC公司總資產周轉次數變化情況 58
圖表 32  近4年MEMC公司銷售毛利率變化情況 59
圖表 33  近4年MEMC公司資產負債率變化情況 59
圖表 34  近4年MEMC公司產權比率變化情況 59
圖表 35  近4年MEMC公司固定資產周轉次數情況 60
圖表 36  近4年Air Liquid公司流動資產周轉次數變化情況 61
圖表 37  近4年Air Liquid公司總資產周轉次數變化情況 62
圖表 38  近4年Air Liquid公司銷售毛利率變化情況 62
圖表 39  近4年Air Liquid公司資產負債率變化情況 63
圖表 40  近4年Air Liquid公司產權比率變化情況 63
圖表 41  近4年Air Liquid公司固定資產周轉次數情況 63
圖表 42  近4年日本電氣工業公司流動資產周轉次數變化情況 64
圖表 43  近4年日本電氣工業公司總資產周轉次數變化情況 65
圖表 44  近4年日本電氣工業公司銷售毛利率變化情況 65
圖表 45  近4年日本電氣工業公司資產負債率變化情況 65
圖表 46  近4年日本電氣工業公司產權比率變化情況 66
圖表 47  近4年日本電氣工業公司固定資產周轉次數情況 66
圖表 48  近4年大陽日酸公司流動資產周轉次數變化情況 67
圖表 49  近4年大陽日酸公司總資產周轉次數變化情況 67
圖表 50  近4年大陽日酸公司銷售毛利率變化情況 68
圖表 51  近4年大陽日酸公司資產負債率變化情況 68
圖表 52  近4年大陽日酸公司產權比率變化情況 69
圖表 53  近4年大陽日酸公司固定資產周轉次數情況 69
圖表 54  近4年Evonik Industries公司流動資產周轉次數變化情況 70
圖表 55  近4年Evonik Industries公司總資產周轉次數變化情況 70
圖表 56  近4年Evonik Industries公司銷售毛利率變化情況 71
圖表 57  近4年Evonik Industries公司資產負債率變化情況 71
圖表 58  近4年Evonik Industries公司產權比率變化情況 72
圖表 59  近4年Evonik Industries公司固定資產周轉次數情況 72
圖表 60 2017-2021年國內高純硅烷生產分析 75
圖表 61  近4年浙江中寧硅業有限公司固定資產周轉次數情況 76
圖表 62  近4年浙江中寧硅業有限公司固定資產周轉次數變化情況 76
圖表 63  近4年浙江中寧硅業有限公司流動資產周轉次數變化情況 76
圖表 64  近4年浙江中寧硅業有限公司流動資產周轉次數變化情況 77
圖表 65  近4年浙江中寧硅業有限公司銷售毛利率變化情況 77
圖表 66  近4年浙江中寧硅業有限公司銷售毛利率變化情況 78
圖表 67  近4年浙江中寧硅業有限公司資產負債率變化情況 78
圖表 68  近4年浙江中寧硅業有限公司資產負債率變化情況 79
圖表 69  近4年浙江中寧硅業有限公司產權比率變化情況 79
圖表 70  近4年浙江中寧硅業有限公司產權比率變化情況 79
圖表 71  近4年浙江中寧硅業有限公司總資產周轉次數變化情況 80
圖表 72  近4年浙江中寧硅業有限公司總資產周轉次數變化情況 80
圖表 73  近4年浙江賽林硅業有限公司固定資產周轉次數情況 82
圖表 74  近4年浙江賽林硅業有限公司固定資產周轉次數變化情況 82
圖表 75  近4年浙江賽林硅業有限公司流動資產周轉次數變化情況 83
圖表 76  近4年浙江賽林硅業有限公司流動資產周轉次數變化情況 83
圖表 77  近4年浙江賽林硅業有限公司銷售毛利率變化情況 84
圖表 78  近4年浙江賽林硅業有限公司銷售毛利率變化情況 84
圖表 79  近4年浙江賽林硅業有限公司資產負債率變化情況 85
圖表 80  近4年浙江賽林硅業有限公司資產負債率變化情況 85
圖表 81  近4年浙江賽林硅業有限公司產權比率變化情況 86
圖表 82  近4年浙江賽林硅業有限公司產權比率變化情況 86
圖表 83  近4年浙江賽林硅業有限公司總資產周轉次數變化情況 87
圖表 84  近4年浙江賽林硅業有限公司總資產周轉次數變化情況 87
圖表 85  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司固定資產周轉次數情況 89
圖表 86  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司固定資產周轉次數變化情況 89
圖表 87  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司流動資產周轉次數變化情況 90
圖表 88  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司流動資產周轉次數變化情況 90
圖表 89  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司銷售毛利率變化情況 91
圖表 90  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司銷售毛利率變化情況 91
圖表 91  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司資產負債率變化情況 92
圖表 92  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司資產負債率變化情況 92
圖表 93  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司產權比率變化情況 93
圖表 94  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司產權比率變化情況 93
圖表 95  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司總資產周轉次數變化情況 94
圖表 96  近4年滁州市硅谷特種氣體有限公司總資產周轉次數變化情況 94
圖表 97  近4年六九硅業有限公司固定資產周轉次數情況 96
圖表 98  近4年六九硅業有限公司固定資產周轉次數情況 96
圖表 99  近4年六九硅業有限公司流動資產周轉次數變化情況 97
圖表 100  近4年六九硅業有限公司流動資產周轉次數變化情況 97
圖表 101  近4年六九硅業有限公司銷售毛利率變化情況 98
圖表 102  近4年六九硅業有限公司銷售毛利率變化情況 98
圖表 103  近4年六九硅業有限公司資產負債率變化情況 99
圖表 104  近4年六九硅業有限公司資產負債率變化情況 99
圖表 105  近4年六九硅業有限公司產權比率變化情況 100
圖表 106  近4年六九硅業有限公司產權比率變化情況 100
圖表 107  近4年六九硅業有限公司總資產周轉次數變化情況 101
圖表 108  近4年六九硅業有限公司總資產周轉次數變化情況 101
圖表 109  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司固定資產周轉次數情況 102
圖表 110  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司固定資產周轉次數情況 103
圖表 111  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司流動資產周轉次數變化情況 103
圖表 112  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司流動資產周轉次數變化情況 103
圖表 113  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司銷售毛利率變化情況 104
圖表 114  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司銷售毛利率變化情況 104
圖表 115  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司資產負債率變化情況 105
圖表 116  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司資產負債率變化情況 105
圖表 117  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司產權比率變化情況 106
圖表 118  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司產權比率變化情況 106
圖表 119  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司總資產周轉次數變化情況 107
圖表 120  近4年浙江金華美晶硅電子有限公司總資產周轉次數變化情況 107
圖表 121  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司固定資產周轉次數情況 109
圖表 122  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司固定資產周轉次數情況 109
圖表 123  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司流動資產周轉次數變化情況 110
圖表 124  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司流動資產周轉次數變化情況 110
圖表 125  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司銷售毛利率變化情況 111
圖表 126  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司銷售毛利率變化情況 111
圖表 127  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司資產負債率變化情況 112
圖表 128  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司資產負債率變化情況 112
圖表 129  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司產權比率變化情況 113
圖表 130  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司產權比率變化情況 113
圖表 131  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司總資產周轉次數變化情況 114
圖表 132  近4年黑龍江金業電子氣體股份有限公司總資產周轉次數變化情況 114
圖表 133  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司固定資產周轉次數情況 116
圖表 134  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司固定資產周轉次數情況 116
圖表 135  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司流動資產周轉次數變化情況 116
圖表 136  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司流動資產周轉次數變化情況 117
圖表 137  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司銷售毛利率變化情況 117
圖表 138  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司銷售毛利率變化情況 118
圖表 139  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司資產負債率變化情況 118
圖表 140  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司資產負債率變化情況 119
圖表 141  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司產權比率變化情況 119
圖表 142  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司產權比率變化情況 119
圖表 143  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司總資產周轉次數變化情況 120
圖表 144  近4年深圳市金業長健新材料股份有限公司總資產周轉次數變化情況 120
圖表 145 TiC涂層的模型 123
圖表 146 CVD法的反應類型和所沉積材料 125
圖表 147  CVD采用的加熱方式 126
圖表 148 開口體系CVD設備示意圖 126
圖表 149 幾種開口體系的反應器示意圖 127
圖表 150 制備ZnSe單晶設備示意圖 128
圖表 151 非晶硅太陽能電池結構圖 132
圖表 152 非晶硅柔性太陽能電池 133
圖表 153 大面積集成型疊層太陽能電池 135
圖表 154 子電池示意圖 135
圖表 155 非晶硅太陽電池的制備流程 136
圖表 156 2021-2027年我國高純硅烷在電子信息產品中應用市場需求量的測算 141
圖表 157 2018-2021年全球半導體材料銷售分析 143
圖表 158 2017-2021年全球半導體材料銷售分析 145
圖表 159 2017-2021年世界半導體硅片出貨量分析 145
圖表 160 2013-2021年我國集成電路行業增長情況 146
圖表 161 2021年我國集成電路出口情況 147
圖表 162 2021年集成電路產業內銷產值增長情況 147
圖表 163 2013-2021年我國集成電路固定資產投資增長情況 148
圖表 164 2021年我國集成電路行業經濟效益增長情況 148
圖表 165 2017-2021年我國集成電路晶圓制造業發展規模分析 153
圖表 166 不同薄膜太陽能電池研究應用水平 164
圖表 167 現有各種太陽能電池比較 171
圖表 168 中國大陸高世代面板線產能分布 184
圖表 169 中國大陸待投產高世代面板線 184
圖表 170 國家新型顯示產業政策 186
圖表 171 各省市新型顯示產業政策 187

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